潔凈室又可稱作無塵室（Cleanroom），通常用作專業工業生產或科學研究的一部分，包括制造藥品，集成電路，CRT，LCD，OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設計是為了保持極低水平的微粒，如灰塵，空氣中的生物體，或汽化的微粒。確切地說，潔凈室有一個受控的污染水平，該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數來規定。潔凈室也可指任何給定的容納空間，在該空間中設置了減少微粒污染和控制其他環境參數，如溫度，濕度和壓力。
很多行業會使用無塵室，只要是小顆粒會對生產過程產生不利影響的地方都會有潔凈室的身影。它們的尺寸和復雜度各不相同，廣泛應用于半導體制造，制藥，生物技術，醫療設備和生命科學等行業，以及航空航天，光學，軍事和能源部中常見的關鍵工藝制造。
風量或風速、室內靜壓差、空氣潔凈度等級、換氣次數、室內浮游菌和沉降菌、溫度和相對濕度、平均速度、速度不均勻度、噪聲、氣流流型、自凈時間、污染泄露、照度（照明）、甲醛、細菌濃度。
1、醫院潔凈手術部：風速、換氣次數、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細菌濃度。
2、醫藥工業潔凈廠房：空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。
3、電子工業潔凈廠房：空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間。
4、食品工業潔凈用房：定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對濕度、自凈時間、甲醛、Ⅰ級工作區截面風速、開發的洞口風速、新風量。
潔凈室通過使用HEPA或ULPA過濾器，采用層流（單向流）或湍流（亂流，非單向流）氣流原理，來控制空氣中的顆粒。
層流或單向氣流系統將過濾的空氣以恒定的流向下或水平方向引導到位于潔凈室地板附近墻壁上的過濾器，或通過凸起的穿孔地板板進行再循環。層流空氣流動系統通常在潔凈室天花板的80%上使用，以保持恒定的空氣。不銹鋼或其他非脫落材料用于構造層流空氣流動過濾器和罩，以防止多余的顆粒進入空氣。
湍流，或非單向空氣流動使用層流空氣流動罩和非特定速度過濾器來保持潔凈室中的空氣在恒定的運動，盡管不是所有的方向相同。粗糙的空氣試圖捕獲可能存在于空氣中的顆粒，并將它們驅趕到地板上，在地板上它們進入過濾器并離開潔凈室環境。
有的地方也會增加矢量潔凈室：在房間的側上角送風，采用扇形高效過濾器，也可以用普通高效過濾器配扇形送風口，在另一側的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。
【潔凈室氣流流型驗證-氣流流型檢測儀】
4、潔凈室的檢測狀態可分為三類。
（1）空態設施齊全的潔凈室所有管線接通并運行但無生產設備、材料及生產人員。
（2）靜態已全部建成的設施齊備的潔凈室中安裝完生產設備并按業主供應商商定的方式試遠轉，但場內無生產人員。
（3）動態設施處于按規定方式運行的狀態并有規定的人員在場以規定的方式工作。
潔凈室竣工以后和投產后，都需要進行性能測定和驗收；在系統大修或更新時，也要進行全面測定，在測定前對潔凈室的概況必須全面了解。
主要內容包括凈化空調系統和工藝布置的平、剖面圖及系統圖對空氣環境條件潔凈度級別溫、濕度風速等的要求空氣處理方案送回風、排風量及氣流組織人、物凈化方案潔凈室的使用情況廠區及其周圍污染情況等。
（一）潔凈室竣工驗收的外觀檢查應符合以下要求
1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調設備空調器、風機、凈化空調機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應正確、牢固、嚴密其偏差應符合有關規定。
2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有可靠密封。
3、各類調節裝置應嚴密、調節靈活、操作方便。
4、凈化空調箱、靜壓箱、風管系統及送、回風口無灰塵。
5、潔凈室的內墻面、頂棚表面和地面應光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現象。
6、送回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應嚴密可靠。
7、潔凈室內各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應符合有關規定。
其中，照度、噪音會影響工作人員的舒適性；潔凈度、正壓、靜風電阻、FFU泄露會影響到半導體制程；溫濕度既會影響人員的舒適性又會影響到制程。特定生產制程，對溫濕度有較高要求，而潔凈度會影響制程良率。因此在日常運行中，IPQC會針對潔凈度和溫濕度進行管控。
一般來講，空氣中含灰塵微粒濃度高則空氣潔凈度低，含灰塵微粒濃度低則潔凈度高。潔凈度的高低可以用潔凈度等級來區分。潔凈度級別則以每立方米空氣中的允許微粒數來確定。ISO-14644是國際標準，現在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標準。美國原來應用的是美國聯邦標準209A、B、C、D、E，現在美國也不用了。原來我們熟悉的100級、1000級、10000級和100000級都是源自美國聯邦標準FS 209B。根據ISO 14644系列國際標準，潔凈室可分為九個等級，從1級到9級，其中1級潔凈度最高，9級最低。
ISO-14644的潔凈度等級標準如下：
其中，1級和2級潔凈室通常用于制造高精度產品，如硬盤驅動器和電子設備等。這些潔凈室的控制要求非常高，需要嚴格控制空氣中的懸浮粒子濃度和溫度。3級到8級潔凈室適用于不同行業的制造過程，例如半導體制造、制藥和醫療器械制造等。這些潔凈室的控制要求各不相同，但都需要保持空氣中的懸浮粒子濃度和溫度在規定的范圍內。9級潔凈室是最不嚴格的等級，通常用于不需要高度控制環境的情況，例如倉庫和辦公室等。
包括規范、圖紙、設計文件和設備的技術資料等，分以下二類。
1、設計類設計文件、設計變更的證明文件及有關協議、竣工圖。
2、設備的技術資料。
3、《潔凈廠房設計規范》GB50073-20012、施工安裝類《通風與空調工程施工質量驗收規范》GB50243-2002
（一）風量或風速的測試
1、抽樣對有設計要求的區域進行檢測。
2、風量風速必須首先對凈化空調各項效果進行檢測，且必須是在設計的風量風速條件下獲得。
（1）亂流潔凈室系統的實測風量值應大于各自的設計風量值但不應超過20%；實測新風量和設計新風量之差不應超過設計新風量的±10%；室內各風口的風量與各自設計風量之差均不應超過設計風量的±15%。
（2）單向流層流潔凈室實測室內平均風速應大于設計風速但不應超過20%；總實測新風量和設計新風量之差不應超過設計新風量的±10%。
（二）室內靜壓差的測試
1、儀器設備及環境測量儀器傾斜微壓計、數字微壓計等。環境溫度常溫或設計溫度下。
2、抽樣對有設計要求的各個相鄰區域實施檢測。
3、靜壓差檢測結果應符合下列規定。
（1）相鄰不同級別潔凈室之間和潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應不小于5Pa。
（2）潔凈室與室外靜壓差應大于10Pa。
（3）潔凈度高于100級的單向流層流潔凈室在開門狀態下在出入口處的室內側0.6m處不應測出超過室內級別上限的濃度。
（三）空氣過濾器的泄露
【高效過濾器檢漏系統】
1、儀器設備及環境測量儀器氣溶膠光度計、氣溶膠發生器。環境溫度常溫或設計溫度下。
2、抽樣高效過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定進行性能試驗，并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏，亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以不進行檢漏。
3、技術要求檢漏的結果要符合條件：由受檢過濾器下風側測到的漏泄濃度換算成透過率，對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍，對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。
4、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態或靜態的潔凈室。
（四）空氣潔凈度等級
【各類塵埃粒子計數器】
1、儀器設備及環境測量儀器塵埃粒子計數器。環境溫度潔凈室區的溫度和相對濕度應與其生產及工藝要求相適應。
2、采樣點的位置及數量
a.測定潔凈度的每次最小采樣量；
b.每個潔凈區最少采樣次數為3次，當潔凈區僅有一個采樣點時，則在該點至少采樣3次；
d.對預期空氣潔凈度等級達到4級或更潔凈的環境采樣量很大可采用ISO14644-1附錄F規定的順序采樣法。
3、技術要求
①每個采樣點的平均粒子濃度Ci應小于或等于潔凈度等級規定的限值；
②全部采樣點的平均粒子濃度N的95%置信上限值應小于或等于潔凈等級規定的限值。
4、室內浮游菌和沉降菌空氣中懸浮微生物的測定有多種，但其測定的基本過程都是經過捕集、培養、計數的過程，目前采用的是浮游菌和沉降菌的測試方法。
【浮游微生物采樣器】
（1）儀器設備及環境測量儀器培養皿、微生物采樣器、恒溫培養箱，浮游菌、沉降菌測試前，被測試潔凈室區的溫濕度須達到規定的要求，靜壓差必須控制在規定值內，被測試潔凈室區已消毒。
采樣裝置采樣前的準備及采樣后的處理均應在高效過濾器排風的負壓實驗室進行操作，測試狀態有靜態和動態兩種并在報告中注明測試狀態。
測試人員測試人員必須穿戴符合環境潔凈度級別的工作服。靜態測試時室內測試人員不得多于2個人。
（2）采樣點的位置及數量
室內浮游菌測點和潔凈度測點可相同，采樣必須按所用儀器說明書說明的步驟進行，特別要注意檢測之前對儀器消毒滅菌。沉降菌測定時，培養皿應布置在有代表性的地點和氣流擾動極小的地點培養皿數。
（3）技術要求室內浮游菌和沉降菌應符合設計要求。
（4）操作過程及判斷
①浮游菌的測試
a.首先應對測試儀器、培養皿表面進行嚴格消毒，采樣器進入被測房間時，先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。
b.采樣者應穿戴潔凈服雙手要消毒。
c.開動真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發時間不少于5min，并調好流量轉盤轉速。關閉真空泵放入培養皿蓋好蓋子后調節采樣器。
d.置采樣口于采樣點后依次開啟采樣器、真空泵、轉動定時器、根據采樣量選定采樣時間。全部采樣結束后，將培養皿倒置于30-35℃恒溫培養箱中，培養時間不少于48h。
e.用肉眼直接計數，然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏，若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊分辨時，仍以兩個或兩個以上菌落計數。
②沉降菌的測試
對單向流如5級凈化房間內及層流工作臺測試應在凈化空調系統正常運行不少于10分鐘后開始；對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應在凈化空調系統正常運行不少于30分鐘開始。
a.采樣方法：將已制備好的培養皿放置在預先確定的取樣點，打開培養皿蓋使培養基表面暴露0.5小時再將培養皿蓋上蓋后倒置。
b.培養全部采樣結束，將培養皿倒置于恒溫培養箱中培養。在30-35℃培養時間不少于48小時。每批培養基應有對照試驗檢查培養基本身是否污染可每批選定3只培養皿作對照培養。
c.菌落計數用肉眼直接計數然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數。
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