為什么需要潔凈室：由于半導體工業所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機物等)，因為這些污染源可以造成元器件性能的劣化及產品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環境中進行，以盡量將污染源和硅片隔離。
潔凈室照片-UMC官網
溫度：23±1℃
濕度：45±3%rh
噪聲：煩惱效應，語言通訊干擾，影響工作效率，低頻噪聲影響設備
壓力：正壓與負壓是相對而言，一個潔凈室對大氣而言是正壓潔凈室，但對另外一個房間而言可能是負壓潔凈室。不同等級的潔凈室以及潔凈區與非潔凈區之間的壓差不小于5Pa，潔凈區與室外的壓差不小于10Pa.
靜電：地面的面層應具有導電性能，并應保持長時間性能穩定，采用靜電耗散性材料，表面電阻率1?105Ω- 1?1012Ω,地面應設有導電泄放措施和接地構造，流動液體，氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施。
振動：精密設備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產工藝和設備制造部門提供。振動尤其對光刻設備影響巨大。
生產區：1000級
黃光區：100級
Mask光罩區：10級
通常通過服裝，MAU，FFU及入口的風淋室等控制手段，可有效控制顆粒物的產生。
這個種方式是半導體業界最常用的一種方式，也叫激光粒度儀，激光粒度儀是基于光衍射現象設計的，當光通過顆粒時產生衍射現象（其本質是電磁波和物質的相互作用）。衍射光的角度與顆粒的大小成反比。不同大小的顆粒在通過激光光束時其衍射光會落在不同的位置，位置信息反映顆粒大小；同樣大的顆粒通過激光光束時其衍射光會落在相同的位置。衍射光強度的信息反映出樣品中相同大小的顆粒所占的百分比多少。激光衍射法就是采用一系列的光敏檢測器來測量位置粒徑的顆粒在不同角度上的衍射光的強度，使用衍射模型，通過數學反演，然后得到樣品的粒度分布。通過該位置檢測器接收到的衍射光強度，得到所對應顆粒粒徑的百分比含量。
?Lighthouse SOLAIR 1100LD（激光二極管）是業界領先的同類便攜式粒子計數器，采用激光二極管技術，具有0.1微米的靈敏度和1.0 CFM（28.3 LPM）的流速。傳統的HeNe（氦氖）粒子計數器需要頻繁清潔，定期更換激光管，并且濃度限制較低。SOLAIR 1100LD設計用于ISO 1級至7級潔凈室，無需擔心污染環境或濃度超標。
其他環境測試：SOLAIR能夠記錄多達4個環境傳感器的數據，這些傳感器插入SOLAIR并由其供電。數據被存儲在3000條記錄的緩沖區中，并可通過USB密鑰與粒子計數數據一起下載到您的計算機。
可靠性：SOLAIR便攜式粒子計數器系列采用先進的激光二極管技術和閉環反饋真空系統，確保準確的樣品體積和長期可靠性。SOLAIR 1100LD的設計、制造和校準均符合ISO 21501-4標準，確保顆粒計數的準確性。同時，SOLAIR還能存儲多達8個粒子通道的3000條粒子計數數據記錄和50個采樣和報告配方，所有數據都能快速、可靠地傳輸到計算機或監控系統中。
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